石英电弧坩埚

发布时间:2017-02-27



      石英电弧坩埚采用进口高纯石英粉作原料,利用离心作用在真空状态下熔制,产品采用国际上最先进的四步法清洗,在万级净化间烘干并采用真空包装方法保证产品的洁净度。产品用途:电弧石英坩埚适用于拉制单晶硅等。坩埚材料:电弧石英坩埚的原料选用美国优质石英粉,其二氧化硅含量在99.9985%以上。

      坩埚结构特点:电弧石英坩埚采用独特的真空熔制方法制造而成,在坩埚的内表面形成厚度约为2~3mm的透明石英玻璃层,因此在进行单晶硅的拉制过程中可有效抑制坩埚体内气泡的逸出,阻止单晶硅微缺陷的产生。用电弧法制的的半导体半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规格集成电路必不可少的基础材料。当今世界半导体工业发达国家已用这种坩埚取代了小的透明石英坩埚。它具有高纯度、尺寸大、精度高、耐温性强、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

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